1.ATE = Automatic Test Equipment. 是自动化测试设的缩写,于半导体产业意指集成电路(IC)自动测试机, 用于检测集成电路功能之完整性, 为集成电路生产制造之最后流程, 以确保集成电路生产制造之品质。
2.DUT = Device Under Test. 待测设备,半导体行业一般是电子元器件/芯片。
3.PIB = Prober Interface Board. 探针接口板:介于测试机探针台和半导体晶圆或芯片之间。是载板的一种,主要用于在半导体器件封装前的测量,与自动测试设备(ATE)之间建立电气连接。
4.DIB = Device Interface Board:设备接口板:介于测试机和设备之间
5.PDP = Prober docking plate,探针台对接板
6.Handler是什么?IC Handler的用法:
Handler = IC pick up and place handler。自动分选机,用于成测中自动分类已测芯片的机器。必须与测试机相连接对接后(docking)及接上对接板(interface board)才能进行测试,动作过程为分选机的手臂将DUT放入socket,此时contact chuck下压,使DUT的脚正确与socket接触后,送出start讯号,透过interface tester,测试完后,tester送回binning及EOT讯号,handler做分类动作。客户产品的尺寸及脚数不同,handler提供不同的模具。
7.Manipulator: 半导体测试行业的manipulator一般指的是Test head manipulator, 测试机机械手/测试机支架, 也叫测试头机械手/测试头支架,搬运测试头,方便测试头与探针台(Prober)对接/取消对接或调整测试头。
9.Pogo Tower, 也叫Prober Tower,中文探针塔,探针塔是机械上精确排列的弹簧触点,顶部和底部,中间有可控的阻抗连接。由于塔的机械和电子特性是众所周知的,测试系统可以补偿插入损耗和信号。
将测试头连接到接口处的探针台上
11.PCB = Printed Circuit Board, (印制电路板),又称印刷线路板,是重要的电子部件,是电子元器件的支撑体,是电子元器件电气连接的载体。由于它是采用电子印刷术制作的,故被称为“印刷”电路板。
12.PC = Probe Card: 探针卡是晶圆测试中被测芯片和测试机之间的接口,主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量,并筛选出不良芯片后,再进行之后的封装工程。探针卡的使用原理是将探针卡上的探针与芯片上的焊垫(Pad)或凸块(bump)直接接触,导出芯片讯号,再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化测量晶圆。它对前期测试的开发及后期量产测试的良率报证都非常重要,是晶圆制造过程中对制造成本影响相当大的重要制程。
13.Wafer = 晶圆。也被称为基片,由纯硅(Si)构成,一般分为6英寸、8英寸、12英寸规格不等,晶片就是基于这个wafer上生产出来的。晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的集成电路产品。
14.Die - Silicon die or bare-die,晶粒 - 硅晶片或裸片是指尚未封装的全功能芯片,一个晶圆由许多晶粒组成,这些晶粒在在切割过程中被分离出来。
15.Chip – 芯片,集成电路(IC)基本上是一种电子电路,它将许多不同的设备集成到一块硅片上。它也经常被称为微芯片或简单的芯片。一般来说,芯片这个词指的是一块很小很薄的材料,有时是从一块较大的材料上掰下来的。当芯片还没有封装时,我们称它为裸片。所以,大多数集成电路都是在很薄(厚度小于1毫米)的硅片上以裸片的形式生产的。
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