Sorters（分选机）是半导体制造过程中不可或缺的关键设备，主要用于晶圆的搬运、分选和管理，确保生产流程的高效与连续性。以下是关于Sorters的详细介绍：
1. Sorters的定义与功能Sorters是一种自动化设备，用于对晶圆进行分类和筛选。它们能够根据晶圆的参数（如大小、电性能、光学性能等）进行分选，并确保每个晶圆的品质符合生产要求。Sorters的主要功能包括：- 晶圆的上下线、制程前分批、制程后合并、制程间倒片。- 产品出厂校验、排序、料盒交换等。
2. Sorters的核心部件
Sorters由多个关键部件组成，包括：Load port（接口模块）：用于晶圆的进出，可与晶圆厂的物料传输系统集成。机械臂（Robot）：用于抓取和搬运晶圆，确保晶圆在设备内部的精确移动。晶圆抓手（End effector）：通过真空或夹持方式固定晶圆，保证晶圆在移动中的稳定性。预对准器（Aligner）：使用LED照明和图像识别传感器，精确检测晶圆边缘和Notch槽位置。控制系统：协调和控制各个部件的运行，实现晶圆的自动分选和分类。3. Sorters的应用Sorters广泛应用于半导体制造的多个环节，包括：晶圆制造前的准备阶段：负责晶圆的装载和卸载。光刻、刻蚀和离子注入过程：确保晶圆在不同加工站之间的精确传输。清洗和检测过程：提高清洗效率和检测精度。封装和后道处理：将晶圆转移到封装设备中，进行最终的质量控制。4. Sorters的重要性Sorters在半导体制造中扮演着重要角色：提高效率：通过自动化操作，减少人工干预，提高生产效率。保证质量：确保晶圆在洁净室环境中的清洁度和精确性。优化流程：通过与生产线其他设备的集成，实现数据共享和流程优化。总之，Sorters是半导体制造中不可或缺的设备，它们通过自动化和智能化的处理方式，确保了晶圆的高效分选和管理，为半导体行业的高质量生产提供了重要保障。
